瑞典Ionautics lonMeter：精準監測電離分數與沉積通量，助力PVD/IPVD工藝與涂層質量雙重提升
在物理氣相沉積（PVD）和電離物理氣相沉積（IPVD）領域，精確監測沉積通量和電離分數對于優化工藝參數和涂層質量至關重要。瑞典Ionautics公司憑借其lonMeter為這一挑戰提供了創新的解決方案。lonMeter基于成熟的石英晶體微天平（QCM）技術，不僅實現了實時監測，還通過一系列獨特設計，提升了電離分數監測的準確性和可靠性。
關于lonMeter
lonMeter憑借其獨特的傳感器設計，能夠精確量化沉積通量中的電離分數，這對于深入理解電離機制及優化電離參數至關重要。在加工過程中，它提供實時現場測量功能，使研究人員能夠即時調整工藝參數以確保產品質量。為了確保電離分數監測的準確性，lonMeter還配備了高效的磁屏蔽裝置，這一設計不僅有效避免了等離子體電子對診斷過程的干擾，同時確保了離子和中性物質的順利傳輸，從而提供了更加準確和可靠的電離分數數據。與傳統的使用網格的解決方案相比，lonMeter的磁屏蔽裝置在阻擋電子方面表現出色，且專注于成膜材料的監測，排除了雜質干擾，使得數據更加可靠。lonMeter的應用范圍廣泛，涵蓋了電離物理氣相沉積（IPVD）工藝的多個方面：
● 電離通量分數優化：
通過實時監測電離過程中的關鍵參數，lonMeter能夠幫助用戶優化電離通量分數，提高工藝的穩定性和效率。
● 過程穩定性提升
lonMeter能夠監測電離過程中的漂移，及時采取措施進行緩解，從而確保涂層質量的一致性和可靠性。
● 涂層參數調整
通過調整電離參數，用戶可以利用lonMeter靈活調整涂層的應力、硬度和電導率等關鍵性能，以滿足不同應用場景的需求。
應用優化策略于多個領域：
1.電離物理氣相沉積(IPVD)中電離通量分數的優化工藝
2.通過監測和緩解電離過程中的漂移來實現過程穩定
3.通過監測和控制電離來調整涂層參數，如應力、硬度和電導率
4.通過空間映射電離和沉積來優化沉積系統設計
5.系統設計優化，希望它均勻分布在空間中
6.在加工過程中現場優化 PVD 源和磁體組設計
IonMeter產品規格
石英振蕩器類型: 6 MHz
頻率分辨率: ± 0.01 Hz，10次讀數/秒
頻率穩定度: 總計± 2 ppm，0°至 50°C 范圍內
水晶兌換: 前裝式獨立包裝，方便更換
通訊接口: USB
輸入電壓：USBC
環境規格：
無水冷時最高工作溫度：130°C
最小水冷流量時最高工作溫度：400°C
規范：CE 認證
尺寸和安裝
傳感器尺寸：待定
安裝：40CF（法蘭），1xBNC-Microdot和2x水
為何選擇lonMeter？
lonMeter不僅能夠輔助優化電離物理氣相沉積工藝中的電離通量分數，穩定工藝過程；還能夠通過監測和控制電離來調整涂層參數，滿足多樣化需求；同時，通過繪制電離和沉積的空間分布圖，lonMeter還能夠輔助沉積系統布局、PVD源和磁鐵組的優化設計，提高沉積效率和涂層質量，為研究人員提供了便利。
lonMeter作為瑞典Ionautics公司提供的創新解決方案，憑借其基于石英晶體微天平（QCM）技術的獨特設計和高效磁屏蔽裝置，在物理氣相沉積（PVD）和電離物理氣相沉積（IPVD）領域展現出了卓越的性能。它不僅實現了對沉積通量和電離分數的精確監測，還通過實時監測和現場優化策略，顯著提升了工藝參數的優化能力和涂層質量的穩定性。無論是在電離通量分數的優化、過程穩定性的提升，還是在涂層參數的調整、沉積系統設計的優化以及沉積過程中的現場優化方面，lonMeter都展現出了其優勢。對于致力于提升PVD和IPVD工藝水平的研究人員和工程師而言，選擇lonMeter它將為您的研究和生產工作帶來便利和效益。
