【導(dǎo)讀】探測頭通過氣體傳感器對氣體樣品進行調(diào)理，通常包括濾除雜質(zhì)和干擾氣體、干燥或制冷處理儀表顯示部分。氣體傳感器在以家用天燃?xì)?middot;丙烷氣體報警器為主的空調(diào)與空氣潔凈器、汽車等領(lǐng)域廣泛得到應(yīng)用。
氣體傳感器是一種將某種氣體體積分?jǐn)?shù)轉(zhuǎn)化成對應(yīng)電信號的轉(zhuǎn)換器。探測頭通過氣體傳感器對氣體樣品進行調(diào)理，通常包括濾除雜質(zhì)和干擾氣體、干燥或制冷處理儀表顯示部分。氣體傳感器在以家用天燃?xì)?middot;丙烷氣體報警器為主的空調(diào)與空氣潔凈器、汽車等領(lǐng)域廣泛得到應(yīng)用。現(xiàn)在工采網(wǎng)小編對Figaro最擅長的3種氣體檢測原理進行說明。
半導(dǎo)體氣體傳感器簡單的架構(gòu)
STEP1
在潔凈的空氣中，氧化錫表面吸附的氧會束縛氧化錫中的電子，造成電子難以流動的狀態(tài)。
STEP2
在泄漏的氣體（還原性氣體）環(huán)境中，表面的氧與還原氣體反應(yīng)后消失，氧化錫中的電子重獲自由，受此影響，電子流動通暢。
半導(dǎo)體氣體傳感器的檢測原理
當(dāng)氧化錫粒子在數(shù)百度的溫度下暴露在氧氣中時，氧氣捕捉粒子中的電子后，吸附于粒子表面。結(jié)果，在氧化錫粒子中形成電子耗盡層。由于氣體傳感器使用的氧化錫粒子一般都很小，因此在空氣中整個粒子都將進入電子耗盡層的狀態(tài)。這種狀態(tài)稱為容衰竭（volume depletion）。相反，把粒子中心部位未能達到耗盡層的狀態(tài)稱為域衰竭（regional depletion）。使氧氣分壓從零（flat band開始按照小（[O-](Ⅰ)）→中（[O-](Ⅱ)）→大（[O-](Ⅲ)））的順序上升時，能帶結(jié)構(gòu)與電子傳導(dǎo)分布的變化如下圖所示（[O-]：吸附的氧氣濃度）。在容衰竭（volume depletion）狀態(tài)下，電子耗盡層的厚度變化結(jié)束，產(chǎn)生費米能級轉(zhuǎn)換pkT，電子耗盡狀態(tài)往前推進則pkT增大，后退則pkT縮小。
■ 隨著吸附的氧氣濃度增加半導(dǎo)體粒子的耗盡狀態(tài)在推進能帶結(jié)構(gòu)
x:半徑方向的距離qV(x):勢壘a:離子半徑[O-]:吸附氧氣的濃度EC:傳導(dǎo)帶下端EF:費米能級pkT:費米能級轉(zhuǎn)換
傳導(dǎo)電子分布
[e]:電子濃度Nd:施子密度
容衰竭（volume depletion）狀態(tài)下球狀氧化錫粒子表面的電子濃度[e]S可用施子密度Nd、粒子半徑a以及德拜長度LD通過式子（1）表示。如果p增大則[e]S減少，p減少則[e]S增大。
[e]S=Nd exp{-(1/6)(a/LD)2-p} ... (1)
由大小、施子密度相同的球狀氧化錫粒子組成的傳感器的電阻值R，可使用flat band時的電阻值R0，通過式子（2）表示。[e]S減少則將增大，[e]S增大則將縮小。
R/R0= Nd/[e]S ... (2)
使用了氧化錫的半導(dǎo)體式氣體傳感器，就是這樣通過氧化錫粒子表面的[O-]的變化來體現(xiàn)電阻值R的變化。
置于空氣中被加熱到數(shù)百度的氧化錫粒子，一旦暴露于一氧化碳這樣的還原性氣體中，其表面吸附的氧氣與氣體之間發(fā)生反應(yīng)后，使[O-]減少，結(jié)果是[e]S增大，R縮小。消除還原性氣體后，[O-]增大到暴露于氣體前的濃度，R也將恢復(fù)到暴露于氣體前的大小。使用氧化錫的半導(dǎo)體式氣體傳感器就是利用這個性能對氣體進行檢測。
參考文獻：Noboru Yamazoe, Kengo Shimanoe, Basic approach to the transducer function of oxide semiconductor gas sensors, Sensors and Actuators B 160 (2011) 1352-1362催化燃燒式氣體傳感器檢測原理
催化燃燒式氣體傳感器由對可燃?xì)怏w進行反應(yīng)的檢測片（D）和不與可燃?xì)怏w進行反應(yīng)的補償片（C）2個元件構(gòu)成。如果存在可燃?xì)怏w的話，只有檢測片可以燃燒，因此檢測片溫度上升使檢測片的電阻增加。相反，因為補償片不燃燒，其電阻不發(fā)生變化（圖1）。這些元件組成惠斯通電橋回路（圖2），不存在可燃?xì)怏w的氛圍中，可以調(diào)整可變電阻（VR）讓電橋回路處于平衡狀態(tài)。然后，當(dāng)氣體傳感器暴露于可燃?xì)怏w中時，只有檢測片的電阻上升，因此電橋回路的平衡被打破，這個變化表現(xiàn)為不均衡電壓（Vout）而可以被檢測出來。此不均衡電壓與氣體濃度之間存在圖3所示的比例關(guān)系，因此可以通過測定電壓而檢出氣體濃度。
■ (圖1)測定電路
■ (圖2)測試電路
■ (圖3)
電化學(xué)氣體傳感器：傳感器元件構(gòu)成與電極反應(yīng)式
傳感器由來自貴金屬催化劑的檢測極、對極與離子傳導(dǎo)體構(gòu)成。當(dāng)CO等檢測對象氣體存在時，在檢測極催化劑上與空氣中的水蒸氣發(fā)生（1）式所示的反應(yīng)。
CO + H2O → CO2＋ 2H+ + 2e- …（1）
檢測極與對極接通電流（短路）后，檢測極產(chǎn)生的質(zhì)子(H+)與同時產(chǎn)生的電子（e-）分別通過離子傳導(dǎo)體與外部電線（引線）各自到達對極，在對極上與空氣中的氧之間發(fā)生（2）式所示的反應(yīng)。
（1/2）O2 + 2H+ + 2e- → H2O …（2）
也就是說此傳感器構(gòu)成了由（1）（2）反應(yīng)式形成的（3）反應(yīng)式的全電池反應(yīng)，可以認(rèn)為是將氣體作為活性物質(zhì)的電池。
CO + （1/2）O2 → CO2 …（3）
當(dāng)做氣體傳感器使用時，接通檢測極與對極的電流，來測定其短路電流。
CO濃度檢測原理公式
對流過外部電路的短路電流與氣體濃度的關(guān)系，通過傳感器進行適當(dāng)?shù)臄U散控制（控制氣體的流入量），呈現(xiàn)出式子（4）這樣的比例關(guān)系（右圖）。
I = F × (A/σ) × D × C × n …（4）
這里 I：短路電流；A：擴散孔面積；σ：擴散層長度；D：氣體擴散系數(shù)；C：氣體濃度；ｎ：反應(yīng)的電子數(shù)量
特長
反應(yīng)式（1）所示的氧化電位由于比氧化電極電位的基準(zhǔn)值（2H+ + 2e- ? H2)要低（擁有較低電位），因此此反應(yīng)不需要消耗來自外部的電壓、溫度等其他能量，可以有選擇地進行，與別的檢測方式相比在干擾性、重復(fù)性、節(jié)電方面要優(yōu)越得多。
氣體傳感器使用要求與注意事項
使用時請務(wù)必閱讀Figaro公司的產(chǎn)品技術(shù)資料，對產(chǎn)品規(guī)格與使用條件進行確認(rèn)。
設(shè)計時要注意避免當(dāng)電路上其他電子部件發(fā)生短路、開路等異常狀況時給氣體傳感器帶來超過額定值的電壓、電流與溫度。
設(shè)計時要注意避免因氣體傳感器的故障而影響到其他的部件，直接或間接導(dǎo)致使用了氣體傳感器的機器產(chǎn)生誤動作、冒煙、起火或其他不穩(wěn)定的狀態(tài)，使機器的安全性受損。
如有必要，敬請考慮采取設(shè)置類似于保護電路這樣的故障保護安全措施。
關(guān)于使用安全注意事項
關(guān)于使用電壓
如果氣體傳感器被施加了超過額定值的電壓，即使未出現(xiàn)斷線與物理性損傷的情況，也有可能發(fā)生傳感器特性受到影響的情況。氣體傳感器一旦有過過電壓經(jīng)歷，請不要使用。
關(guān)于使用溫度
請不要在超過額定溫度的高溫下使用氣體傳感器。在超過額定溫度的高溫環(huán)境下電極膜會劣化，傳感器的特性很有可能會受到影響。
關(guān)于使用環(huán)境
氣體傳感器如果受到堿金屬的污染，氣體傳感器的特性有可能受到顯著影響。尤其要避開鹽水噴霧。
如果暴露于氨氣等堿性高濃度氣體中，氣體傳感器的特性很有可能受到影響，因此要避免出現(xiàn)這樣的情況。
要避免在有可能使用了硅粘結(jié)劑與含有硅的發(fā)膠、硅橡膠、硅膩子的場所使用或保管氣體傳感器。從含硅的產(chǎn)品蒸發(fā)出來的硅蒸汽有可能引起傳感器內(nèi)部氣體流入通道的堵塞。
氣體傳感器內(nèi)部與表面如果持續(xù)長時間大量結(jié)露的話，可能會引起氣體流入通道的堵塞與氣體敏感膜的劣化情況發(fā)生。正常的室內(nèi)環(huán)境中產(chǎn)生的輕微結(jié)露對氣體傳感器不會產(chǎn)生重大的影響。
如果氣體傳感器暴露于硫化氫與硫酸系氣體環(huán)境時，有可能出現(xiàn)內(nèi)部的氣體擴散膜與蓋帽、或本體受到腐蝕，氣體傳感器受損的情況。
氣體傳感器如果暴露于酒精類、丙酮、揮發(fā)油等產(chǎn)生的有機物蒸汽中，氣體敏感部吸附有機物蒸汽，可能會發(fā)生傳感器特性短時間變化的情況。
氣體傳感器如果暴露于極度的粉塵與油性氣霧中，有可能在氣體傳感器內(nèi)部發(fā)生孔眼堵塞的情況。如果可以預(yù)知是這樣的使用環(huán)境，建議在氣體傳感器的上部加裝外接過濾器。
當(dāng)在低溫環(huán)境中發(fā)生快速凍結(jié)的情況時，氣體傳感器內(nèi)部可能發(fā)生漏水對氣體傳感器的特性產(chǎn)生影響。尤其是當(dāng)把蓋帽朝下設(shè)置于機器中的時候，很容易發(fā)生這樣的情況。
如何處理
請不要將傳感器浸入水中、或?qū)⑺疄⒌絺鞲衅魃希駝t有可能對傳感器的特性造成影響。
如果讓氣體傳感器受到強烈震動或撞擊，其內(nèi)部可能會發(fā)生斷線或短路等情況。
請不要隨意分解氣體傳感器，也不要使本體與蓋帽部位發(fā)生變形。
關(guān)于保管方法
如果將氣體傳感器放置在密封袋這樣密閉性很強的容器內(nèi)保管的話，因周圍溫度的變化氣體傳感器內(nèi)部可能出現(xiàn)結(jié)露的情況。
設(shè)計應(yīng)用機器時的注意事項
出現(xiàn)零度以下的低溫時水槽里的水有可能結(jié)冰凍結(jié)，一般情況下結(jié)冰不會對氣體傳感器的特性產(chǎn)生影響，但水結(jié)冰后體積增大有可能使氣體傳感器胴體發(fā)生變形的情況出現(xiàn)。設(shè)計機器時要注意防止氣體傳感器因結(jié)冰變形后與配置在周圍的其它電子產(chǎn)品和電路基板發(fā)生接觸。
安裝時的注意事項
用焊錫將傳感器焊接到電路基板時，如果使用焊錫槽，焊錫產(chǎn)生的高濃度助焊劑蒸汽有可能對傳感器特性產(chǎn)生影響。我們建議手焊操作。考慮使用焊錫槽的話，請在量產(chǎn)前用試驗組預(yù)先對傳感器特性可能產(chǎn)生的影響進行確認(rèn)。
為提高對濕度的耐受性、對氣體的耐受性而用樹脂涂膜時，樹脂所含的化學(xué)成分溶劑可能會引起特性下降的情況發(fā)生。
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